TEKNOLOGI HISEMI
Baru-baru ini, HISEMI TECHNOLOGY secara rasmi mengeluarkan generasi baharu peralatan pengisaran dan penggilap ketepatan makmal dwi stesen. Produk baharu ini memfokuskan pada senario pengisaran dan penggilap sampel kelompok kecil untuk bahan keras dan rapuh seperti semikonduktor-generasi ketiga, kristal optik dan seramik khas, mengisi jurang dalam penyetempatan peralatan penyediaan sampel berketepatan tinggi-dalam penyelidikan saintifik domestik.
Pembangunan bahan semikonduktor baharu telah mendorong permintaan untuk pengisaran dan penggilapan ketepatan
Dengan perkembangan pesat industri semikonduktor-generasi ketiga seperti silikon karbida (SiC) dan galium nitrida (GaN), universiti utama, institut penyelidikan dan makmal R&D perusahaan semikonduktor terus meningkatkan keperluan mereka untuk kerataan substrat, ketepatan ketebalan dan penunjuk kekasaran permukaan. Peralatan pengisar stesen tunggal tradisional mempunyai titik kesakitan seperti kecekapan pemprosesan yang rendah, kawalan tekanan tidak sekata, dan kebolehulangan proses yang lemah. Peralatan pengisaran ketepatan yang diimport juga mempunyai masalah seperti kos perolehan yang tinggi, kitaran penyelenggaraan yang panjang dan kesukaran dalam penyesuaian dan transformasi. Berdasarkan keperluan sebenar penyelidikan dan pembangunan bahan baharu domestik, Hemei Semiconductor bergantung pada pengalaman bertahun-tahun dalam penyelidikan dan pembangunan peralatan pengisaran ketepatan, secara berulang mengoptimumkan reka bentuk struktur, dan melaksanakan mesin pengisaran dan penggilap ketepatan pintar dwi stesen ini.
Reka bentuk stesen dwi mencapai peningkatan kecekapan proses
1. Reka bentuk stesen dwi bebas: Peralatan dilengkapi dengan dua set stesen kerja bebas, dan lekapan disesuaikan (Jjg) dilengkapi dengan modul pemantauan ketebalan digital, yang boleh memantau jumlah penyingkiran pengisaran sampel dalam masa nyata dalam talian, dengan ketepatan 1 μ m dan tekanan lekapan boleh laras. Reka bentuk stesen dwi boleh memproses dan melaraskan bentuk cakera pada masa yang sama, dan juga boleh memproses bilangan sampel yang lebih besar secara serentak, yang hampir dua kali lebih cekap daripada pemprosesan mesin tunggal tradisional.
2. Sistem kawalan proses sentuhan pintar mengguna pakai sistem pengendalian sentuhan industri Huichuan INOVANC, yang menyokong penyimpanan dan mendapatkan semula beberapa set formula proses pengisaran. Ia boleh menetapkan dengan tepat kelajuan cakera pengisaran, masa pengisaran, beban tekanan, dan parameter semburan cecair mengisar, dan dengan mudah mengakses proses matang dengan satu klik, mengurangkan kesilapan manusia dan memastikan konsistensi dalam pemprosesan sampel.
3. Sistem bekalan cecair ketepatan datang standard dengan 2 saluran paip titisan cecair pengisaran bebas, yang boleh membekalkan bahan habis pakai seperti cecair pengisar berlian dan cecair penggilap alumina dalam masa nyata mengikut proses pengisaran, mengoptimumkan persekitaran pengisaran permukaan, mengurangkan pecahan dan calar tepi wafer secara berkesan, dan menyesuaikan diri dengan pelbagai jenis substrat keras dan rapuh seperti wafer silikon, silikon, cezoelectric, sapphires.
4. Reka bentuk badan standardisasi keselamatan: Peralatan menggunakan badan kalis karat bersepadu, dilengkapi dengan butang keselamatan berhenti kecemasan dan suis perlindungan kuasa. Strukturnya padat dan menempati kawasan yang kecil, menyesuaikan diri dengan sempurna dengan persekitaran penempatan atas meja makmal, mengimbangi kestabilan peralatan dan keselamatan operasi.
Penyediaan sampel penyelidikan meliputi pelbagai bidang
Peranti baharu ini terutamanya ditujukan kepada tiga bidang aplikasi utama:
1. Penyelidikan dan pembangunan semikonduktor generasi ketiga: Penipisan substrat SiC/GaN, penggilap cermin, digunakan untuk penyediaan sampel sebelum ujian sifat fizikal dan kimia bahan dan sifat elektrik;
2. Industri Optik dan Kristal: Penggilapan ketepatan kaca optik, substrat nilam, dan muka hujung kristal kuarza untuk memenuhi keperluan sampel ujian prestasi salutan optik dan penghantaran cahaya;
3. Bidang penyelidikan bahan baharu: pengisaran dan penggilap bahan bukan logam-tak organik khas seperti seramik alumina, litium niobate, galium arsenide, bahan komposit berlian, dsb.
Mempercepatkan proses penggantian domestik peralatan pengisaran ketepatan
Sebelum ini,-peralatan pengisaran ketepatan makmal kelas atas di China telah lama bergantung pada model yang diimport dari Eropah, Amerika dan Jepun. Pelaksanaan mesin pengisar dan penggilap dwi stesen ini oleh Hemei Semiconductor telah menanda aras produk import yang serupa dari segi ketepatan pemprosesan dan kawalan pintar, di samping mengurangkan kos perolehan dan pasca operasi dengan ketara. Peralatan tersebut telah digunakan dalam percubaan di beberapa universiti Kelas Pertama Berganda di China, termasuk Pusat Pengajian Sains dan Teknologi Bahan, Makmal Utama Semikonduktor Generasi Ketiga dan Pusat R&D Perusahaan Semikonduktor Kuasa Terkemuka.
Analisis industri menunjukkan bahawa dengan pecutan proses penyetempatan semikonduktor generasi ketiga-dan bahan optik termaju di China, permintaan untuk penyetempatan peralatan pemprosesan pra ketepatan makmal-terus meningkat. Pengeluar peralatan tempatan terus mengulangi teknologi mereka, yang akan memecahkan lagi monopoli jenama luar negara dan menambah baik rantaian industri bahan baharu semikonduktor domestik yang menyokong.
